双频激光干涉仪原理图,双频激光干涉仪原理图解

  • 0
  • 2024-09-23 06:06:52

大家好,今天小编关注到一个比较有意思的话题,就是关于双频激光干涉仪原理图的问题,于是小编就整理了3个相关介绍双频激光干涉仪原理图的解答,让我们一起看看吧。

双频激光干涉仪的特点及应用?

(1) 接受信号为交流信号,前置放大器为高倍数的交流放大器,不用直流放大,故没有零点漂移等问题。(2) 利用多普勒效应,计数器计频率差的变化,不受激光强度和磁场变化的影响。在光强度衰减90%时仍可得到满意的信号,这对于远距离测量是十分重要的,同时在近距离测量时又能简化调整工作。(3) 测量精度不受空气湍流的影响,无需预热时间。用激光干涉仪作为机床的测量系统可以提高机床的精度和效率。起初仅用于高精度的磨床、镗床和坐标测量机上,以后又用于加工中心的定位系统中。但由于在一般机床上使用感应同步器和光栅一般能达到精度要求,而激光仪器的抗振性和抗环境的干扰性能差,且价格较贵,目前在机械加工现场使用较少。

双频激光干涉仪原理图,双频激光干涉仪原理图解

双频激光干涉仪在光刻机方面有用吗?

有用。

激光干涉仪可以精确测量载物台或硅片台(统称载物台)的位 置及旋转。对于光刻机载物台水平方向X向或Y向的测量(在此定义坐标系垂向为Z向, 水平方向为X向和Y向),可直接在载物台侧面安装垂直于水平方向入射光的长方形反射 镜,测量X坐标和Y坐标。

一般说来,载物台垂向行程不大,水平向行程却很大,而载物台 侧面无需载物,所以侧面安装和行程相当的长方形反射镜,可以在大行程内测量载物台的X 坐标和Y坐标。进一步的,同一个方向上用二个以上的光轴可测量载物台的旋转。比如对 X向和Y向同一个反射镜上的各三个不同点进行测量,可测得载物台沿水平向X轴或水平 向Y轴的平移、载物台绕水平向X轴或水平向Y轴的旋转以及绕垂向ζ轴的旋转(X,Y,Rx, Ry, Rz)。

朱鹤年在生理学的主要贡献?

清华大学物理系教授,普通物理实验室主任,主持理学院平台课程“基础物理实验”。深受学生爱戴。在物理系学生节晚会上,曾有学生打出了“鹤年您好”的标语,其受欢迎程度可见一斑。

从1984年起曾担任普通物理实验室主任数年,实际主持全校非物理专业普通物理实验教学工作近十年。从1996年起负责物理系及基础科学班的基础物理实验教学,2003年起主持理学院平台课程“基础物理实验”。现任系理科物理教学领导小组副组长(物理理科人才培养基地领导小组副组长)。近年来负责教育部教学研究项目2项。1997年以来发表教学研究论文约20篇。曾主讲过全国性误差与不确定度的教师讲习班2期、北京地区的讲习班一期。在高校讲学或作会议特邀报告十余次。

1972-73参加稳频激光器的研制。曾负责半内腔单模稳频激光器的研制。 1982-1983 独立完成了埃(0.1nm)分辨率的激光测量系统的实验研究。1983-1985 负责组织生产和调试了十余台双频激光干涉仪。1985-90年负责(组长)六五攻关“光栅扫描式电子束曝光机”的子课题“(二维)闭环控制(双频)激光测量系统”。1987-91年与姚建铨院士共同主持七五攻关“73-01-03.3三维激光扫描仪”研究。1992至今 从事液晶物理与液晶测试技术的研究。作为第一发明人被批准激光器、测量方法、光学器件的发明专利3项(85100058.4;96105188.4;99127181.5)。指导光学专业的硕士研究生14人,从事光学计量、激光应用、激光技术、液晶测试技术等方面的研究。

到此,以上就是小编对于双频激光干涉仪原理图的问题就介绍到这了,希望介绍关于双频激光干涉仪原理图的3点解答对大家有用。

相关阅读